近日，拓荊科技、中科飛測、盛美上海、微導納米4家半導體設備廠商聯(lián)合成立合資公司——廣州中科共芯半導體技術合伙企業(yè)（有限合伙）（以下簡稱中科共芯）。
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天眼查資料顯示，中科共芯于2023年12月12日成立，注冊資本1.8億元，是一家以從事計算機、通信和其他電子設備制造業(yè)為主的企業(yè)，經(jīng)營范圍包括：半導體分立器件制造、銷售；電子元器件制造、批發(fā)、零售；電力電子元器件制造、銷售等。
股權結構顯示，拓荊科技、中科飛測全資子公司、微導納米均持股27.7624%，盛美上海持股比例為16.6574%，中科共芯的執(zhí)行事務合伙人為廣州中科齊芯半導體科技有限責任公司，持股0.0555%。
其中，拓荊科技成立于2010年4月，主要從事半導體專用設備的研發(fā)、生產(chǎn)、銷售與技術服務，公司主要產(chǎn)品包括等離子體增強化學氣相沉積（PECVD）設備、原子層沉積（ALD）設備和次常壓化學氣相沉積（SACVD）設備三個產(chǎn)品系列，已廣泛應用于集成電路晶圓制造領域。
中科飛測作為國內(nèi)高端半導體檢測和量測設備龍頭，自2014年成立以來一直專注于半導體檢測和量測設備領域，目前已成功推出了無圖形晶圓缺陷檢測設備、圖形晶圓缺陷檢測設備、三維形貌量測設備、薄膜膜厚量測設備等產(chǎn)品，可被廣泛應用于28nm及以上制程集成電路制造和先進封裝環(huán)節(jié)。
盛美上海先后開發(fā)了前道半導體工藝設備，包括清洗設備、半導體電鍍設備、立式爐管系列設備、涂膠顯影Track設備、等離子體增強化學氣相沉積PECVD設備、無應力拋光設備；后道先進封裝工藝設備以及硅材料襯底制造工藝設備等。
2023年3月，盛美上海首次獲得碳化硅（SiC）襯底清洗設備訂單，國內(nèi)SiC襯底制造龍頭廠商由此成為盛美上海的客戶。
微導納米成立于2015年12月，是一家面向全球的半導體、泛半導體高端微納裝備制造商，主要產(chǎn)品為應用于光伏電池、硅基微顯示、邏輯芯片、存儲芯片、化合物半導體和3D封裝等半導體及泛半導體的專用設備和成套技術。
2023年11月，微導納米在參加投資機構調(diào)研時表示，第三代半導體是公司半導體領域內(nèi)的主要布局方向之一，公司相關產(chǎn)品已取得了多家知名客戶的訂單，可應用于第三代化合物半導體功率器件領域，市場前景廣闊。（集邦化合物半導體Zac整理）
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