近期，碳化硅設(shè)備賽道格外熱鬧，愛思強(qiáng)、Aehr、優(yōu)睿譜、硅酷科技4家碳化硅設(shè)備廠商相繼傳出利好消息，顯示了碳化硅設(shè)備產(chǎn)業(yè)的生機(jī)與活力。
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碳化硅設(shè)備廠商好戲連臺(tái)
7月16日，愛思強(qiáng)宣布安世半導(dǎo)體訂購(gòu)了愛思強(qiáng)用于8英寸碳化硅量產(chǎn)的新型G10-SiC設(shè)備，安世半導(dǎo)體還訂購(gòu)了愛思強(qiáng)的G10-GaN設(shè)備。愛思強(qiáng)相關(guān)設(shè)備將安裝在安世半導(dǎo)體位于德國(guó)漢堡的晶圓廠，進(jìn)一步加強(qiáng)該工廠的半導(dǎo)體生產(chǎn)能力。
據(jù)悉，愛思強(qiáng)G10-SiC設(shè)備發(fā)布于2022年9月，自上市以來銷量持續(xù)保持增長(zhǎng)。今年4月，愛思強(qiáng)曾表示，Wolfspeed在2023年Q3-Q4期間與其簽訂了多個(gè)碳化硅設(shè)備訂單。據(jù)其介紹，G10-SiC設(shè)備為Wolfspeed的8英寸材料工廠John Palmour碳化硅制造中心提供支持，助力Wolfspeed進(jìn)一步加大、加快8英寸碳化硅晶圓的生產(chǎn)。氮化鎵設(shè)備方面，半導(dǎo)體代工廠BelGaN在去年底宣布將采購(gòu)愛思強(qiáng)的G10-GaN設(shè)備。
同在7月16日，Aehr宣布，一家碳化硅測(cè)試和預(yù)燒客戶向其訂購(gòu)了多套 WaferPak?全晶圓接觸器，價(jià)值1270萬美元，用于滿足電動(dòng)汽車市場(chǎng)碳化硅功率半導(dǎo)體晶圓級(jí)預(yù)燒和篩選的生產(chǎn)需求，預(yù)計(jì)將在未來三個(gè)月內(nèi)交付。
據(jù)觀察，今年以來，Aehr設(shè)備產(chǎn)品需求強(qiáng)勁。此前在4月2日，Aehr曾宣布，其已收到客戶的初步訂單，訂購(gòu)一套FOX-NP晶圓級(jí)測(cè)試和老化系統(tǒng)、多臺(tái)WaferPak接觸器和一臺(tái)FOX WaferPak對(duì)準(zhǔn)器，這些設(shè)備將用于碳化硅器件的工程設(shè)計(jì)、認(rèn)證和小批量生產(chǎn)晶圓級(jí)測(cè)試和老化，計(jì)劃在未來幾個(gè)月內(nèi)發(fā)貨。
在愛思強(qiáng)和Aehr收到新訂單的同時(shí)，優(yōu)睿譜成功交付境外客戶一款碳化硅襯底晶圓位錯(cuò)及微管檢測(cè)的全自動(dòng)設(shè)備。這是時(shí)隔一個(gè)月，優(yōu)睿譜再次實(shí)現(xiàn)碳化硅設(shè)備交付。
今年6月，優(yōu)睿譜成功交付客戶一款晶圓邊緣檢測(cè)設(shè)備SICE200，該設(shè)備可用于硅基以及化合物半導(dǎo)體襯底及外延晶圓的邊緣缺陷檢測(cè)。
除了6月交付的SICE200、本次交付的SICD200，優(yōu)睿譜SICV200晶圓電阻率量測(cè)設(shè)備，實(shí)現(xiàn)了完全對(duì)標(biāo)國(guó)外供應(yīng)商測(cè)試性能及設(shè)備供應(yīng)鏈的國(guó)產(chǎn)化目標(biāo)。同時(shí)，針對(duì)碳化硅外延晶圓CV測(cè)量后有金屬殘留及壓痕的行業(yè)痛點(diǎn)做了針對(duì)性創(chuàng)新開發(fā)，成功解決該行業(yè)痛點(diǎn)，目前已得到多家客戶的訂單。
此外，硅酷科技近日也披露了最新進(jìn)展。其核心產(chǎn)品為碳化硅銀燒結(jié)設(shè)備，該設(shè)備所生產(chǎn)的碳化硅功率器件，是新能源汽車電能轉(zhuǎn)換與電路控制的核心部件，廣泛應(yīng)用于新能源汽車的電驅(qū)電控系統(tǒng)。目前，硅酷科技憑借碳化硅銀燒結(jié)設(shè)備打入了理想、蔚來、吉利等主流車企供應(yīng)鏈。
持續(xù)拓展市場(chǎng)，碳化硅設(shè)備廠商業(yè)績(jī)報(bào)喜
在加速拓展市場(chǎng)的過程中，各大碳化硅設(shè)備廠商斬獲頗豐。
碳化硅銀燒結(jié)設(shè)備用戶持續(xù)拓展，硅酷科技實(shí)現(xiàn)了營(yíng)收凈利雙雙增長(zhǎng)。據(jù)硅酷科技近期披露，截至2024年5月底，硅酷科技營(yíng)收已超過去年全年?duì)I收70%，凈利潤(rùn)同比增長(zhǎng)超過200%。
硅酷科技業(yè)績(jī)表現(xiàn)亮眼，愛思強(qiáng)亦不遑多讓。7月初，愛思強(qiáng)公布2024年第二季度初步業(yè)績(jī)成果。第二季度，愛思強(qiáng)實(shí)現(xiàn)訂單總額1.76億歐元（約合人民幣13.95億元），其中，碳化硅/氮化鎵設(shè)備訂單占比最高，分別為58%和29%。
7月9日，與愛思強(qiáng)同為國(guó)際碳化硅設(shè)備關(guān)鍵廠商的Aehr和Axcelis同時(shí)公布了最新業(yè)績(jī)，2家廠商營(yíng)收情況均超出此前預(yù)期。
其中，Axcelis當(dāng)前預(yù)計(jì)Q2營(yíng)收將超過2.52億美元，每股攤薄收益將超過1.38美元，相比之下，Axcelis此前發(fā)布的營(yíng)收指引為2.45億美元，每股攤薄收益為1.30美元。同時(shí)，Axcelis繼續(xù)預(yù)計(jì)下半年業(yè)績(jī)將強(qiáng)于上半年。
業(yè)務(wù)進(jìn)展方面，今年上半年在不到一個(gè)月時(shí)間內(nèi)，Axcelis已完成三起碳化硅設(shè)備訂單的出貨，客戶包括中國(guó)、日本等地的功率器件制造商。2023年，碳化硅設(shè)備業(yè)務(wù)營(yíng)收占Axcelis總營(yíng)收的34%，成為其業(yè)績(jī)重要組成部分和增長(zhǎng)動(dòng)力。
以一斑窺全豹，碳化硅設(shè)備廠商或業(yè)績(jī)表現(xiàn)良好，或?qū)ξ磥戆l(fā)展持樂觀態(tài)度，展現(xiàn)了碳化硅設(shè)備細(xì)分領(lǐng)域未來有望持續(xù)穩(wěn)健發(fā)展。
碳化硅設(shè)備廠商未來可期
設(shè)備廠商頻傳喜訊與整個(gè)碳化硅產(chǎn)業(yè)火熱發(fā)展密切相關(guān)，近年來，在市場(chǎng)需求持續(xù)增長(zhǎng)推動(dòng)下，各大廠商掀起了一股投資擴(kuò)產(chǎn)熱潮，各類新建與改擴(kuò)建項(xiàng)目陸續(xù)落地實(shí)施，在此過程中，各類碳化硅相關(guān)設(shè)備需求量無疑很可觀，無論項(xiàng)目最終成效如何，碳化硅設(shè)備相關(guān)廠商都將獲得大量的供貨機(jī)會(huì)，首先受益。
在碳化硅產(chǎn)業(yè)“瘋狂”擴(kuò)產(chǎn)進(jìn)程中，設(shè)備廠商已然收獲了一波紅利，未來，各大設(shè)備企業(yè)仍有機(jī)會(huì)實(shí)現(xiàn)業(yè)績(jī)?cè)鲩L(zhǎng)。
目前，碳化硅產(chǎn)業(yè)已出現(xiàn)價(jià)格戰(zhàn)苗頭，降本增效成為各大廠商關(guān)注的焦點(diǎn)，而設(shè)備對(duì)于產(chǎn)線降本有一定的促進(jìn)作用，也帶動(dòng)相關(guān)設(shè)備廠商加大供貨。據(jù)硅酷科技近日透露，一條投入過億元的產(chǎn)線，使用硅酷科技的設(shè)備可節(jié)省50%成本。
與此同時(shí)，碳化硅產(chǎn)業(yè)正在由6英寸向8英寸轉(zhuǎn)型升級(jí)，在這個(gè)過程中，有望釋放大量設(shè)備更新?lián)Q代需求，各大碳化硅設(shè)備廠商有望再獲得一波紅利。（文：集邦化合物半導(dǎo)體Zac）
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