3月19日，中科創(chuàng)星官微發(fā)文稱，張家港安儲(chǔ)科技有限公司（下文簡稱“安儲(chǔ)科技”）宣布已完成Pre-A輪融資，本輪融資由中科創(chuàng)星領(lǐng)投，天匯資本和張家港智慧創(chuàng)投跟投。資金將用于產(chǎn)能擴(kuò)建與設(shè)備研發(fā)。
據(jù)介紹，安儲(chǔ)科技成立于2020年，專注于先進(jìn)電子材料研發(fā)、生產(chǎn)和銷售，主營產(chǎn)品為配方型功能電子化學(xué)品（如拋光液、清洗液， 濕法刻蝕液， 光刻膠剝離液等）以及電子特氣安全存儲(chǔ)負(fù)壓鋼瓶兩大產(chǎn)品系列。
圖片來源：拍信網(wǎng)正版圖庫
中科創(chuàng)星提到，碳化硅（SiC）作為寬禁帶半導(dǎo)體，適合高壓、大電流的應(yīng)用場(chǎng)景，近年來受到新能源汽車、光伏儲(chǔ)能等行業(yè)影響，市場(chǎng)增速極快，國內(nèi)SiC產(chǎn)業(yè)也在2021年～2022年得到迅速發(fā)展。但SiC襯底硬度高、脆性大，給拋光帶來了極大難度。而拋光后因其晶圓和機(jī)臺(tái)的清洗工藝流程更長，也提高了SiC晶圓的制造成本。因此，目前SiC襯底的拋光液和清洗液由國際廠商主導(dǎo)，在國內(nèi)仍屬新興領(lǐng)域。
在SiC襯底拋光清洗上，安儲(chǔ)科技擁有拋光液、拋光后晶圓清洗液、拋光后機(jī)臺(tái)拋光墊清洗液全工藝環(huán)節(jié)耗材產(chǎn)品。與傳統(tǒng)方案相比，安儲(chǔ)科技的產(chǎn)品性能更加優(yōu)異，成本更具競(jìng)爭優(yōu)勢(shì)。
在SiC襯底拋光液方面，目前Fujimi、Ferro、卡博特（Cabot）、圣戈班（Saint-Gobain）等國際廠商占據(jù)全球大部分市場(chǎng)，這些廠商普遍采用氧化鋁作為研磨顆粒。
安儲(chǔ)科技則創(chuàng)新性的采用了金屬氧化物作為研磨顆粒，其ACTL-WS系列拋光液不僅擁有較高的拋光速率，同時(shí)可獲得低表面粗糙度，低缺陷的晶圓表面。而且拋光液可以循環(huán)使用，降低客戶使用成本。
文：中科創(chuàng)星、集邦化合物半導(dǎo)體整理
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