中導(dǎo)光電設(shè)備股份有限公司(下文簡稱“中導(dǎo)光電”)的納米級圖形晶圓缺陷光學(xué)檢測設(shè)備(NanoPro-150)于近日再次交付客戶。
據(jù)悉,前道圖形晶圓檢測設(shè)備是半導(dǎo)體芯片制造過程中的核心設(shè)備之一,技術(shù)門檻高,對提高產(chǎn)品良率、降低生產(chǎn)成本、推進(jìn)工藝迭代起著重要作用。目前,雖然中國大陸已經(jīng)成為全球最大的前道量檢測市場,國內(nèi)廠商市場份額占比仍然較小。
此次交付用戶的NanoPro-150產(chǎn)品靈敏度系納米級序列,充分滿足半導(dǎo)體芯片90nm及以上產(chǎn)線制造工藝需求。該型號首臺設(shè)備于去年首次交付給國內(nèi)知名功率半導(dǎo)體企業(yè)使用,如今再次迎來訂單,表明了市場對該設(shè)備有著很高的認(rèn)可度。
圖片來源:拍信網(wǎng)正版圖庫
NanoPro-150是NanoPro-1XX系列中的高端產(chǎn)品,除與國際頂尖公司同類產(chǎn)品在靈敏度、檢出速度等主要性能參數(shù)相近外,還開發(fā)和引入了許多先進(jìn)的AI算法和軟件,進(jìn)一步提高了信噪比,顯著提升了設(shè)備在關(guān)鍵制程的缺陷檢測靈敏度和檢出率。
此外,該設(shè)備還可兼容兩種不同的晶圓尺寸,如8英寸與12英寸、6英寸與8英寸、5英寸與6英寸等,拓展了設(shè)備使用范圍。
同時,該產(chǎn)品實現(xiàn)了精密光機(jī)電關(guān)鍵核心部件的國產(chǎn)化和自主可控,為產(chǎn)品的量產(chǎn)和穩(wěn)產(chǎn)提供了保障。
中導(dǎo)光電是國內(nèi)半導(dǎo)體及泛半導(dǎo)體前道圖形缺陷檢測設(shè)備的領(lǐng)軍企業(yè)。中導(dǎo)光電于成立以來的16年內(nèi),在平板顯示(FPD)等工業(yè)領(lǐng)域,銷售各種亞微米(≥0.5μm)“有圖形”檢測設(shè)備近300臺。
公司目前進(jìn)入銷售和量產(chǎn)的NanoPro-1XX系列產(chǎn)品和MDI亞微米檢測設(shè)備,加上NanoPro-2XX和NanoPro-3XX將先后進(jìn)入市場,有望打破國內(nèi)企業(yè)重度依賴國外檢測設(shè)備的局面。(化合物半導(dǎo)體市場Morty整理)
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