12月20日，復(fù)旦大學(xué)高密度刻蝕機和介質(zhì)刻蝕機采購項目中標(biāo)結(jié)果公布。
項目中標(biāo)人均為北方華創(chuàng)。其中，高密度刻蝕機采購項目，中標(biāo)金額1500萬元，涉及標(biāo)的物2臺高密度刻蝕機；介質(zhì)刻蝕機采購項目，中標(biāo)金額1050萬元，涉及標(biāo)的物1臺介質(zhì)刻蝕機。
同日，北京大學(xué)公布多項設(shè)備采購項目中標(biāo)結(jié)果，包括北京大學(xué)集成電路學(xué)院原子層沉積設(shè)備采購項目、北京大學(xué)集成電路學(xué)院四管擴散爐采購項目、北京大學(xué)集成電路學(xué)院磁控濺射臺（金屬）采購項目、北京大學(xué)集成電路學(xué)院等離子增強原子層沉積設(shè)備采購項目、北京大學(xué)集成電路學(xué)院高密度等離子刻蝕系統(tǒng)采購項目、北京大學(xué)集成電路學(xué)院高密度等離子刻蝕機（Poly Si）采購項目、北京大學(xué)等離子增強化學(xué)氣相淀積系統(tǒng)采購項目。
以上項目中標(biāo)人均為北方華創(chuàng)。其中，原子層沉積設(shè)備采購項目，中標(biāo)金額395萬元，涉及標(biāo)的物2套原子層沉積設(shè)備；四管擴散爐采購項目，中標(biāo)金額435萬元，涉及標(biāo)的物2套四管擴散爐；磁控濺射臺（金屬）采購項目，中標(biāo)金額598.8萬元，涉及標(biāo)的物2套磁控濺射臺（金屬）；等離子增強原子層沉積設(shè)備采購項目，中標(biāo)金額495萬元，涉及標(biāo)的物1套等離子增強原子層沉積設(shè)備。
圖片來源：拍信網(wǎng)正版圖庫
高密度等離子刻蝕系統(tǒng)采購項目，中標(biāo)金額1295萬元，涉及標(biāo)的物2套高密度等離子刻蝕；高密度等離子刻蝕機（Poly Si）采購項目，中標(biāo)金額598萬元，涉及標(biāo)的物1套高密度等離子刻蝕機；等離子增強化學(xué)氣相淀積系統(tǒng)采購項目，中標(biāo)金額1095萬元，涉及標(biāo)的物1套等離子增強化學(xué)氣相淀積系統(tǒng)。
北方華創(chuàng)是國內(nèi)集成電路高端工藝裝備的先進企業(yè)，主營半導(dǎo)體裝備、真空裝備、新能源鋰電裝備及精密元器件業(yè)務(wù)，為半導(dǎo)體、新能源、新材料等領(lǐng)域提供解決方案。
今年前三季度，北方華創(chuàng)實現(xiàn)營收100.12億元，同比增長62.19%；歸屬于上市公司股東的凈利潤為16.86億元，同比大幅增長156.13%。（文：集邦化合物半導(dǎo)體 Cecilia整理）
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